1. 主体:全封闭框架结构,真空室为前开门方式,机柜和主机为一体式机构。采用优质0Cr18Ni9不锈钢材料(SUS304),箱体尺寸为不小于φ350X400mm。设置DN100观察窗口,位于真空腔体门正前方,骨架默认白色(或铝合金本色),门板为白色,四只脚轮,可固定,可移动。室体、真空机组、磁控靶等有断水报警锁定安全装置,能够防止停水后出现安全隐患。

2. 真空系统:

2.1极限真空度:≤6.63×10-4Pa(空载、经充分烘烤除气并充干燥氮气)。

2.2真空配置:高速直联旋片泵一台,抽速大于6L/S,超高分子泵一台,抽速600L/s。

2.3真空测量:两路电阻规,一路电离规;对真空室和真空管道分别精确监控,带数据通讯。

3. 工件架系统:单工位4英寸工件盘,工件盘可加热至500摄氏度,工件架真空室底部安装,便于更换基片,转速3~30rpm。

4. 照明装置:照明装置1套。

5. 磁控溅射系统:配置2-3个Φ50mm磁控靶,安装于真空室顶部,向下溅射成膜。

6.充气系统:二路分别配置质量流量控制器,分别为0-100SCCM 1只,0-200SCCM1只,准确度±1% F.S,线性±0.5 % F.S,重复精度±0.2% F.S。

7.循环冷却水路:配置冷水机组与空压机。

8.电气控制系统:采用功能化模块设计方式,匹配西门子控制单元和MCGS人机界面,实现真空系统的自动控制,基本工作单元的控制,安全报警及故障信息显示,并通过文字方式提示,软件的功能和模块可以根据实际需求进行单列或合并,但不得减少功能。