●该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统,同时兼容IBE等离子刻蚀和在线辅助镀膜,过流部件均采用SUS304制造,真空系统后置,标准配置分子泵系统,标配工业级人机界面和西门子PLC系统,手动和自动模式自由切换,能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供全手动操作控制系统。

形式:箱式一体机,立式前开门,蒸发室和抽气室为整体焊接式,一体机系统。

●真空系统:极限真空5X10-4Pa,主泵为复合分子泵。

●真空测量:配三路数字复合真空计,均采用安全防爆金属测量规。

●工件架系统:客户需求定制,配置可扩展4英寸、3英寸、2英寸基片的专用互换工装,转速3~30rpm变频可调,工件盘为球形和行星工件盘可选,行星工件盘成本较高。

●烘烤系统:不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块,烘烤温度300℃,温控精度1℃,过冲不超过2℃。

●电子束蒸发源:E型电子束蒸发源系统(E型)1套,主体有屏蔽罩,单枪、单电源、单扫描,配置独立高压控制柜。

●坩埚:坩埚1套,电动转位和点动转位,配置无氧铜坩埚和石墨坩埚各一套。

●电阻蒸发源:2套电阻蒸发源。(选配)

●膜厚测试系统:配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统, RS-232 和 USB兼容,匹配水冷膜厚探头。

●离子源辅助沉积系统:一套(选配离子源或高压离子轰击系统)

●控制系统:成熟可靠的真空镀膜控制系统,工业级10英寸触摸屏和西门子PLC,能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程;支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统,采用声光报警。

●说明:根据用户要求,公司愿与客户联合研发,共享知识产权,公司致力于工艺与设备完美匹配。