●形式:箱式一体机,立式前开门,蒸发室和抽气室为整体焊接式,沉积腔采用SUS304真空氩弧焊成型不,一体机系统,可连接单排双工位手套箱,中间用DN150超高真空插板阀隔断。

●真空系统:极限真空5X10-4Pa,主泵为复合分子泵,抽速600L/S,前级泵配置直联泵,主阀匹配。

●真空测量:配数字复合真空计,均采用防爆金属测量规。

●工件架系统:客户需求定制,可放入4英寸掩模版,转速3~30rpm变频可调。

●烘烤系统:匹配数字功率控制器和PID控制模块,*高烘烤温度300℃。

●电阻蒸发源:水冷电极引入,2套电阻蒸发源,蒸发功率5KW,配置8KWE型电子枪1套,膜厚测试系统。匹配石英膜厚仪,可与挡板联动。

●控制系统:成熟可靠的真空镀膜控制系统,工业级10英寸触摸屏和西门子PLC,能够实现抽真空、工转烘烤、自动冷却放气等镀膜生产流程;支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统,采用声光报警。

●辅助系统:配置冷水机1台,空压机1台。

●说明:本系统含单排双工位手套箱1台,单边4个手套,有效长度1.8米。