●本设备在成都光学镀膜机产业链发达基础上,在核心部件、控制系统和结构设计上吸收国际一流产品技术精髓,开发出surpass系列产品。本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜: 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶(树脂)件上镀制增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜,能够根据客户需求定制。

●形式:φ650-3500mm,箱式一体机,立式前开门,蒸发室和抽气室为整体焊接式,一体机系统。

●真空系统:极限真空8X10-5Pa,主泵为复合分子泵低温泵扩散泵可选。

●真空测量:配三路数字复合真空计,均采用安全防爆金属测量规。

●工件架系统:客户需求定制,转速3~30rpm变频可调,工件盘为球形和行星工件盘可选。

●烘烤系统:不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块,烘烤温度300℃,温控精度1℃,过冲不超过2℃。

●电子束蒸发源:E型电子束蒸发源系统(E型)1-2套,主体有屏蔽罩,配置独立高压控制柜。

●旋转蒸发源:电动转位和点动转位,配置无氧铜坩埚和石墨坩埚各一套。

●电阻蒸发源:2套电阻蒸发源。(选配)

●膜厚测试系统:配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统, RS-232 和 USB兼容,匹配水冷膜厚探头。

●离子源辅助沉积系统:一套(选配离子源或高压离子轰击系统)。

●控制系统:成熟可靠的真空镀膜控制系统,工业级10英寸触摸屏(工控机)和西门子PLC,能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程;支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统,采用声光报警。

●说明:根据用户要求,公司愿与客户联合研发,共享知识产权,公司致力于工艺与设备完美匹配。