集成电路生产用超纯水设备

一、集成电路生产用超纯水设备特点

1、整体化程度高、易于扩展、增加膜数量即可增加处理量。

2、自动化程度高,遇故障立即自停,具有自动保护功能。

3、膜组件为复合膜卷制而成,表现出更高的溶质分离率和透过速率。

4、能耗低、水利用率高、运行成本低。

5、结构合理,占地面积少。

6、先进的膜保护系统,在设备关机,淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净,延长膜寿命。

7、系统无易损部件,无须大量维修,运行长期有效。

8、设备设计有膜清洗系统用阻垢系统。

二、集成电路生产用超纯水设备的性能优势

1、无需酸碱再生无需昂贵的纯水柱(超纯化柱/去离子纯水柱/超纯水柱)更换,纯化柱通常为一次性使用。edi则消除了这些学药品酸碱有害物质的处理和繁重的工作,保护了环境。

2、连续、简单的操作:在混床中由于每次再生和水质量的变化,使操作过程变得复杂,而edi的产水过程是稳定的连续的,产水水质是恒定的,没有复杂的操作程序,操作大大简便化。

3、降低了安装的要求:edi系统与相当处理水量的混床相比,有较不的体积,它采用积木式结构,可依据场地的高度和灵活地构造。模块化的设计,使edi在生产工作时能方便维护。