石墨舟装片房是用于太阳能行业与PECVD承载车配套、装取硅片、配制中效及高效过滤器,确保吹出的空气达到净化要求。

工作原理:

空气通过高效过滤后,阻尼层均压,使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区,从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度,操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。

主要特点:

1、能准确的使石墨舟承载装片车定位;

2、采用不锈钢制造,整机结构坚固可靠;

3、采用GK系列高效空气过滤器3只;

4、PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度;

5、净化风机噪音小于50dB。

6、保证了工作区内达到工艺要求的洁净度100级。