详细说明：

作为一种低GWP值的绿色环保新型干法刻蚀气体,可应用于半导体闪存芯片的前段刻蚀。另外其还可用于灭火剂、制冷剂、三氟甲基化。

外观和性状:液化压缩气体

颜色:无色

气味:无数据资料

气味阈值:无数据资料

pH值:无数据资料

挥发性有机物(VOC)含量:无数据资料

熔点/凝固点: -78 °C

沸点/初沸点/沸程/初馏点:-22.5 °C

闪点:不适用

相对蒸发率(乙酸丁酯=1):无数据资料

可燃性 (固体,气体):无数据资料

爆炸极限/燃烧上下极限:无数据资料

爆炸性:无数据资料

氧化性:无数据资料

蒸气压:70 psig (@ 20 °C)

临界温度:无数据资料

临界压力:无数据资料

相对蒸汽密度(20 °C):无数据资料

密度/相对密度:2.3608 g/ml(@ -42 °C)

分子量:195.91 g/mol

溶解性:无数据资料

n-辛醇/水分配系数:无数据资料

自燃温度(℃/℉):无数据资料

产品参数：

中文名称：三氟碘甲烷
中文别名：Trifluoromethyl iodide, Iodotrifluoromethane
英文名称：Trifluoroiodomethane
分子式/结构式: CF₃I
分子量(Mr): 195.91
物化性质：沸点:-22.5 °C
用途：制冷剂、灭火剂、绝缘与灭弧气体、半导体刻蚀气体、三氟甲基化试剂