详细说明：

全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。

ODP:0

GWP100年:290

大气停留时间(天):1

分子量:162.03

沸点(℃):6

凝固点(℃):-130

临界温度(℃):139.6

临界压力(bar):31.9

液体密度(15℃,kg/l):1.44

蒸汽密度(kg/m3,@15℃):6.8

蒸汽压(25℃,bar):2.11

汽化潜热(熔点时,1.013bar情况下,kJ/kg):161.8

空气中的可燃范围(%vol):7-73

产品参数：

中文名称：全氟丁二烯
中文别名：六氟-1,3-丁二烯
英文名称：hexafluorobutadiene-1,3
分子式/结构式: C₄F₆
分子量(Mr): 162.0332
物化性质：沸点(℃):6
用途：半导体刻蚀气体