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1分类电子级超净提纯设备2名称电子级盐酸提纯设备3型号DYST-DU4产品级别EL/UP/UPS5产能t/a≥50006加热方式电加热7装机容量kw/套28能耗kw.h/t≤7809收率%≥5110设备高度m3.811技术特性节能环保型生产装置、连续性生产