概述:

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。

应用

半导体制程

真空蒸馏

真空包装

钢脱气

薄膜覆层

真空冶金

低密度风洞

空间模拟

真空浸渍

油干燥和脱气

制药冷冻干燥

CO2 激光

功能和优势

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。

轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

技术数据:

容积(工作容积)

50Hz 2590 m3h-1/1525 ft3min-1

60Hz 3110 m3h-1/1830 ft3min-1

使用后备泵时的有效抽取速度

E2M175 1750 m3h-1/1031 ft3min-1

E2M275 1900 m3h-1/1119 ft3min-1

泵的压差 ?

50Hz 0-120 mbar/0-90 Torr

60Hz 0-67 mbar/0-50 Torr

入口连接 ISO160

出口连接 ISO100

转速

50Hz 0-2900 rpm

60Hz 0-3500 rpm

连续入口操作压力 0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口压力 1000 mbar/760 Torr

推荐的后备泵 GXS250,GXS400,E2M175,E2M275

电源供给

50Hz 220-240V/380-415V

60Hz 230V/460V

马达功率

碳氢化合物 11kW/15hp

PFPE 11kW/15hp

ATEX 11kW

防爆型 15hp

环境温度范围

操作 5 至 40°C/40 至 104°F

存储 -10 至 80°C/14 至 176°F

最大操作湿度 90% RH

推荐的冷却水流量(入口温度 20°C)* 250lh-1/1.1 gal min-1

推荐的冷却水供应压力* 2-6 bar

冷却水接头* 3/8 英寸 BSP 阳螺纹

推荐用油

标准型 Ultragrade 20

PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6

油容量

齿轮箱 3.5 升

联结器箱 6.5 升

轴杆封口储油器 1.5 升

重量** 401 kg/882 lb