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廣泛應用於面板、太陽能、冶金系統、鍍膜、電漿制程、干燥處理、制程氣體抽取、制程氣體抽取、生技制藥、化工產業。 排氣路徑短,減少反應物沉積 線型密封性佳,泵浦..

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